真空熱處理是真空技術與熱處理技術相結合的新型熱處理技術，真空熱處理所處的真空環境指的是低于一個大氣壓的氣氛環境，包括低真空、中等真空、高真空和超高真空，真空熱處理實際也屬于氣氛控制熱處理。

真空熱處理技術應用和發展得到進一步的完善和推廣，它具有無氧化、無脫碳、淬火后工件表面清潔光亮、耐磨性高、無污染、自動化程度高等特點。工業生產中廣泛采用了真空退火、真空除氣、真空油淬、真空水淬、真空氣淬、真空回火及真空滲碳等熱處理技術。近年來，隨著高壓氣淬真空爐的面世，高速鋼刀具的真空淬火已成為現實。真空爐制造廠家眾多，國內或合資的如易普森公司、法國的ECM工業爐公司、G-M公司等。國內廠家知名品牌也不少，像中國航天航空集團“長城”系列、北京機電研究所WZ系列真空爐等等，其技術水平、性能、價格在國內具有極強的競爭優勢，真空熱處理將成為熱處理車間最普及的最主要的技術之一。