氮化熱處理是指利用電弧放電狀況加熱中氮汽體水解后形成的氮離子轟擊零件表層，獲得高頻淬火層的正離子有機化學熱處理方法。熱處理一般適用于生鐵、碳素鋼、合金鋼、不銹鋼板、鈦金屬等，這是因為通過正離子氮處理后的零件可以顯著提高材料表面的強度，使其具有較高的耐磨性、流平性工作能力等。

作為一種加強金屬表面的模具熱處理工藝，一般適用于生鐵、碳鋼、合金鋼、不銹鋼板和鈦金屬。離子氮化最大特點是綠色。目前已廣泛應用于車輛、儀器等部件的生產加工。氮化熱處理工藝對機械設備有規定，供參考如下：

1.真空值

機械設備的真空熱處理爐體必須具有良好的密封性能，根據真空泵獲取系統軟件，才能獲得加工工藝所需的真空值。

2.絕緣

為了保證加工工藝的正常發展和設施的正常性，零件(負極)必須對陽極氧化有優良的絕緣。

3.關斷特性優良

在獲得穩定的電弧放電之前，零件表面不可避免地會導致電弧充放電，即光線穩定后，光線也會變化為電弧。電弧充放電的特點是低壓、大工作電流充放電，規定機械設備具有良好的關閉特性，不會損壞零件和機械設備。

4.冷卻水

真空熱處理爐體必須有循環系統冷卻水，防止橡膠密封氣溫過高的熱損壞。

5.保溫隔熱

真空熱處理爐體必須安裝使用隔熱屏，一是節省電磁能，二是減少發熱釋放引起的溫度不均勻。